独自のスペクトル解析技術により、これまでにない小型化を実現したCRDS方式のガス中微量水分センサ

mini CRDSセンサ（H₂O）
OEMユニット

mini CRDSは、独自の光学設計とスペクトル解析技術により、これまでにない小型化を実現した、レーザー技術を用いたCRDS（Cavity Ring Down Spectroscopy）方式のガス中微量水分センサ（OEMユニット）です。

キャリアガスや雰囲気ガスなど高純度ガス中の微量水分（12 ppbv ～ 20 ppmv（-100 ～ -55 ℃DP））を高感度・高精度・高速測定することができます。

半導体製造装置やグローブボックスなど、装置への組込み用OEMユニットとしての提供へのご相談に応じることもできます。

詳しくはお問い合わせください。

※本製品は国立研究開発法人産業技術研究所との共同研究の成果を活用しています。

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用途例

  • グローブボックス
  • ドライルーム、ドライチャンバー
  • 高純度ガス製造ライン
  • 半導体製造装置（エッチング、露光、薄膜形成、塗布工程等）
  • 全固体電池製造装置
  • 全固体電池用材料製造ライン
  • アンモニア、水素等充填設備
  • 凍結乾燥機
  • 航空宇宙関連設備 など

※OEMユニットは、原則、上記のような製造装置または設備の量産設計・製造メーカ様のみへの供給となります。
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mini CRDSセンサ 仕様（例）

測定方式CRDS（Cavity Ring Down Spectroscopy）
測定範囲12 ppbv ～ 20 ppmv（-100 ～ -55 ℃DP）
測定精度±4% または ±12 ppbの大きい方
応答速度約60 s （50 ⇔ 1000 ppbv変化における90 %応答時間）
環境条件10～40℃、35～80%rh以下（結露なきこと）
サンプルガス種類　Air, N₂, O₂, Ar など　※その他のガスは要相談
温度　5 ～ 60 ℃
流量　< 2.0 L/min.
圧力　86～106 kPaA（オプションで < 900 kPaA 対応可能）

技術資料

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