独自のスペクトル解析技術により、これまでにない小型化を実現したCRDS微量水分計

小型CRDS微量水分計
DewTracer mini CRDS-H₂O

DewTracer mini CRDS-H2Oは、レーザー技術を用いたCRDS（Cavity Ring Down Spectroscopy）方式のガス中微量水分計です。
独自の光学設計とスペクトル解析技術により、これまでにない小型化を実現しました。
キャリアガスや雰囲気ガスなど高純度ガス中の微量水分（12 ppbv ～ 20 ppmv（-100 ～ -55 ℃DP））を高感度・高精度・高速測定することができます。

※本製品は国立研究開発法人産業技術研究所との共同研究の成果を活用しています。

カタログ（日本語・英語）

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高速応答

1000 ppbv → 50 ppbv
63%応答　15.4 s
90%応答　52.4 s
（測定ガス：N₂）

50 ppbv → 1000 ppbv
63%応答　26.5 s
90%応答　37.4s
（測定ガス：N₂）

高精度

国立研究開発法人産業技術研究所による一次標準との比較データ（1）（測定ガス：N₂）

国立研究開発法人産業技術研究所による一次標準との比較データ（2）（測定ガス：N₂）

高感度

国立研究開発法人産業技術研究所による一次標準との比較データ（3）（測定ガス：N₂）

信頼性の高い測定データ

  • 国立研究開発法人産業技術総合研究所との共同研究により不確かさを算出
  • 出荷する全数へ国立研究開発法人産業技術総合研究所が供給する国家標準とトレーサビリティがとれた社内標準器との比較校正を実施

ユーザビリティを考慮したデザイン

用途や設置箇所に応じて選択可能な利用形態

ベンチトップ
PC接続
壁掛け

簡単操作

専用モニター（5インチのフルカラータッチパネル搭載）または専用ソフトウェアをインストールしたPCの使用で次のような機能の使用が可能

  • 測定の開始・停止
  • 各種設定
  • 表示設定（測定値、トレンドグラフ、解析波形）
  • 誤動作防止ロック機能
  • センサ稼働状態監視機能
  • アラーム機能　など

外部へのデータ出力

測定値または演算値を各種出力形態で外部へ出力することが可能
※専用モニターが必要
※デジタル出力（RS-232C）は専用モニターに標準装備
アナログ出力およびリレー出力はオプション

安全性への対応

  • 接ガス部にはUJR/VCR接手を使用、耐薬品、腐食性ガスにも対応
  • 万が一、可燃性や有毒性を有する危険なガスが筐体内で配管からリークしても、筐体外にリークすることを防ぐため、窒素など不活性ガスの筐体内パージ用ポートを搭載

製品仕様

品名CRDS微量水分計
品番DewTracer mini CRDS-H2O
測定方式CRDS（Cavity Ring Down Spectroscopy）
測定範囲12 ppbv ～ 20 ppmv（-100 ～ -55 ℃DP）
測定精度±4% または ±12 ppbの大きい方
応答速度約60 s （50 ⇔ 1000 ppbv変化における90 %応答時間）
環境条件10～40℃、35～80%rh以下（結露なきこと）
サンプルガス種類　Air, N₂, O₂, Ar など　※その他のガスは要相談
温度　5 ～ 60 ℃
流量　< 2.0 L/min.
圧力　86～106 kPaA（オプションで < 900 kPaA 対応可能）
パージガス流量　< 5.0 L/min. ※パージ機能使用時
測定値体積モル分率 [ppmv]
計測部ガス温度 [℃]
計測部ガス圧力 [PaA]
配管1/4 inch（フジキン製：UJR-RP）
供給電源付属ACアダプタ（100-240 V, 50 / 60 Hz, 1.4 A max）
消費電力約 10 W
寸法W 150 x H 165 x D 300 [mm]
重量約 5kg (ACアダプターを除く）
品名専用モニター（DewTracer mini CRDS-H2O用）
品番mini CRDS PC-D0V1
表示部カラーLCD（800×480 WVGA） 5 inch タッチパネル
測定値体積モル分率 [ppmv]
計測部ガス温度 [℃]
計測部ガス圧力 [PaA]
演算値露点／霜点温度 [℃DP]
出力　　　　デジタル　RS-232C　※標準装備
アナログ　4 ～ 20mA　※オプション
リレー　MOS FETリレー（100 V / 300 mA） ※オプション
供給電源DewTracer mini CRDS-H2Oから供給
※専用電源ケーブル付属
消費電力約 30 W
寸法W 150 x H 200 x D 75.4 [mm]
重量約 1.7 kg

主なアプリケーション

●半導体用高純度ガス製造、検査、充填工程
　→　工程の効率化
　　　高額なガスの消費量軽減によるコストカット
●全固体電池の研究、製造工程
●グローブボックス、ドライチャンバーの管理、制御

○半導体の研究・開発・製造工程
○医療用高純度ガスの研究・開発・製造工程
○医薬品の研究・開発・製造工程
○リチウムイオン電池（LiB）の研究・開発・製造工程
○電気二重層キャパシタ（EDLC）の研究・開発・製造工程
○有機ELの研究・開発・製造工程
○フラットパネルディスプレイの研究・開発・製造工程
○精密電子部品の防錆・結露防止
○粉体製造工程の湿度管理
○ハイバリアフィルムの検査・性能確認・性能評価
○高純度シリコン等の半導体材料製造工程　など

技術資料

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