技術投稿：「計測標準と計量管理」74巻1号

ガス中の微量水分計測のトレーサビリティ体系と二次標準器の開発
小型CRDS微量水分計の実用化

国立研究開発法人 産業技術総合研究所 計量標準総合センター
物質計測標準研究部門 ガス・湿度標準研究グループ　上級主任研究員 阿部 恒
神栄テクノロジー株式会社 専務取締役　柴田 真一

目次

1.　はじめに
2.　微量水分計測の現状と課題
2.1.　ガス中微量水分の一次標準
2.1.1　ガス中微量水分の標準とは
2.1.2　微量水分発生装置
2.1.3　微量水分標準の確立と国際同等性の確認
2.2　市販の微量水分計の性能試験
2.3　CRDS微量水分計の問題
2.4　CRDSの測定原理
2.5　小型CRDS微量水分計の開発
2.6　小型CRDS微量水分計の技術移転
3.　小型CRDS微量水分計の実用化
3.1　背景と経緯
3.2　mini CRDSの主な特長
3.3　小型・軽量化
3.4　性能評価
3.5　供給・保守への対応整備
3.6　今後の取り組み
4.　おわりに

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　PDFへのリンク先
　https://shinyei-tm.co.jp/humiditymeasurement/wp-content/uploads/2024/06/techinfo_crds_AIST-STC_2024.pdf

出展元

本技術投稿に関わる製品の情報

小型CRDS微量水分計
DewTracer mini CRDS-H₂O

DewTracer mini CRDS-H2Oは、レーザー技術を用いたCRDS（Cavity Ring Down Spectroscopy）方式のガス中微量水分計です。
独自の光学設計とスペクトル解析技術により、これまでにない小型化を実現しました。
キャリアガスや雰囲気ガスなど高純度ガス中の微量水分（12 ppbv ～ 20 ppmv（-100 ～ -55 ℃DP））を高感度・高精度・高速測定することができます。

※本製品は国立研究開発法人産業技術研究所との共同研究の成果を活用しています。

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