波長可変半導体レーザー吸収分光（TDLAS：Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy）技術により超高速応答を実現した設備組込み用のレーザー式露点計

TDLAS露点水分計　N3

露点範囲　-40 ℃DP ～ 20 ℃DP

TDLAS N3 は、低露点の測定ニーズがもっとも大きな製造工程の設備や装置への組込み用途に特化するかたちで、TDLAS方式の最大の特長である「応答性の速さ」と「腐食ガスなど他成分に影響を受けない測定」はそのままに、TDLAS T-1 から機能や性能を絞ることでコストダウンを図ったOEMタイプのTDLAS露点水分計です。

設備や装置への組込み用としてのカスタマイズや特注対応に関するご相談も承ります。

お問い合わせ

腐食ガスや混合ガスの影響を受けない露点測定

従来の露点計や湿度計では信頼性の高い測定ができなかった有機溶剤や酸、アルカリガスの中でも、N3では長期的に安定した露点測定ができます。
さまざまなガス種にも対応しますので、詳しくは個別にご相談下さい。

簡単操作・各種出力機能

  • 設定や各種データのモニタリングは専用ソフトウェアをインストールしたPCで簡単操作
  • 外部へのデータ出力は、アナログ、デジタル、リレーから選択が可能

高速応答

0 ℃DP ⇔ –30 ℃DP、–30 ℃DP ⇔ –50 ℃、それぞれの露点変化に対し、90%応答で15秒以内と、静電容量式や鏡面冷却式などの他方式とは桁違いの応答速度を示します。

信頼性の高い測定データ

  • 国立研究開発法人産業技術総合研究所との共同研究により性能評価を実施した TDLAS T-1 をベースに設計した機種です。
  • 出荷する全数へ国立研究開発法人産業技術総合研究所が供給する国家標準とトレーサビリティがとれた社内標準器との比較校正を実施します。

サポート体制

設計から製造、修理や校正などの保守まで、一貫して自社の国内工場で行っています。導入検討から設置や測定での支援、保守まで、迅速に対応するサポート体制を整えています。

製品仕様（代表例）

品名吸収分光式露点水分計
品番T-1-N-240V-N3
測定方式波長可変半導体レーザー吸収分光（TDLAS）
露点測定範囲-40 ～ 20 ℃DP
システム精度± 2 ℃DP （-30 ～ -10 ℃DP at 25 ℃）
使用環境条件5～40℃、35～80%rh以下（結露なきこと）
サンプルガス流量　0.8 L/min （typ.）
測定値露点／霜点 [℃DP]
サンプルガス温度 [℃]（※1）
サンプルガス圧力 [kPa]
露点検出部（セル）温度 [℃]
露点検出部（セル）圧力 [kPa]
演算値相相対湿度 [%rh]（※2）
絶対湿度 [g/m3]（※2）
水蒸気圧 [Pa]
水分率 [ppmv、ppmw]
外部入力センサ温度センサ　Pt100Ω 4線式
出力　デジタル　RS-232C
アナログ　4 ～ 20mA、0 ～ 5 VDC
フォトモスリレー　400 V / 240 mA
供給電源AC 240V ± 5 %
消費電力85 W Max.
寸法W 430 x H 222 x D 222 [mm]
重量約 20kg

※1　オプションの温度センサが必要　ただし、出力設定で演算用に固定値を入力・設定することが可能です。
※2　オプションの温度センサを使用しない場合は演算用に設定した固定値のサンプリングガス温度での演算となります。

主なアプリケーション

●半導体や二次電池の製造工程管理
●炉（工場炉、熱処理炉など）内の露点管理
●各種ガス中の露点、水分管理 など

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